
清空记录
历史记录
取消
清空记录
历史记录

仪器简介:
基质辅助脉冲激光沉积系统(MAPLE)起初由美国海军研究实验室于1994年开发,使用准分子激光器沉积聚合物薄膜。多年来,基质辅助脉冲激光沉积系统已经有了很大的发展,现已发展成为具备红外激光器和多目标机
械手的商用系统。中科院宁波材料所于2014年引进了国内MAPLE系统,其主要技术参数包括:衬底尺寸(Max)2英寸直径或多个小样品,衬底温度(Max)可达300°C,MAPLE靶材温度低至-194°C,压力操作范围根据
聚合物/溶剂混合物变化,靶材到衬底距离可在2.5至4英寸之间调节。该系统支持2.9微米(Er:YAG激光)及其他波长激光,并配有可视/近红外共振PLD/MAPLE系统。
系统技术指标:
衬底尺寸
One 2-inch diameter substrate or multiple small samples. Larger substrates and custom substrate holders are available on request.
衬底温度:300°C typical, but other heaters are available.
MAPLE靶材温度: -194°C (80 K)
压力操作范围:Base pressure depends strongly on polymer/solvent mix and the solvent vapor pressure
MAPLE靶材尺寸:Single 1.5” diameter target standard, larger targets available on request.
靶材到衬底(Throw) 距离:Variable from 2.5 to 4 inches
光栅路径长度:Across complete MAPLE target
标准的激光束射向靶材入射角度:60°
主腔体本底真空:P < 5 x 10-7 Torr guaranteed with system at room temperature and no polymer/solvent mix.
真空腔体:Box style chamber with easy substrate / target changes.
激光波长:2.9 microns (Er:YAG laser), other lasers/wavelengths available on request.
可见/近红外共振PLD/MAPLE系统VIS/NIR Resonant PLD/MAPLE System
优势与特点:
1. 低温沉积,保留材料化学完整性
MAPLE靶材温度可低至 -194°C(80 K),利用冷冻靶材抑制热敏材料分解
衬底可加热至 300°C,满足不同薄膜结晶需求
特别适合聚合物、生物大分子、有机半导体等热敏材料
2. 灵活的激光系统
标配 2.9 μm(Er:YAG激光),有机分子吸收效率高
可选其他波长激光器
支持 可见/近红外共振PLD/MAPLE 系统配置
3. 精确的过程控制
靶材-衬底距离:2.5 ~ 4 英寸 连续可调
激光入射角:60°(标准)
光栅扫描:覆盖整个MAPLE靶材表面,确保均匀烧蚀
4. 兼容多种样品规格
Max衬底尺寸:2英寸直径 或 多个小样品(可定制更大衬底)
标准靶材尺寸:1.5英寸直径(可定制更大靶材)
5. 高真空环境
主腔体本底真空:室温无聚合物/溶剂时优于 5×10⁻⁷ Torr
保证薄膜纯度,减少背景杂质掺入
6. 便捷的操作设计
箱式真空腔体,便于衬底/靶材更换
可根据聚合物/溶剂混合物的蒸汽压优化操作压力
系统配置亮点:
| 激光系统 | Er:YAG激光(2.9 μm)为标准配置,可选其他波长;支持可见/近红外共振PLD/MAPLE |
| 靶材控制 | 多目标机械手(可选),光栅扫描覆盖整个靶面 |
| 衬底加热 | Max300°C,可定制其他温度范围 |
| 靶材冷却 | 液氮冷却,可低至-194°C(80 K) |
| 真空腔体 | 箱式设计,前/侧开方便操作,高真空兼容 |
| 距离调节 | 靶材-衬底间距手动或电动可调(2.5-4英寸) |
| 特性 | 传统PLD | MAPLE |
|---|---|---|
| 靶材形态 | 致密固体(金属、陶瓷等) | 冷冻靶材(聚合物+溶剂基质) |
| 材料分解风险 | 高(激光直接烧蚀) | 低(溶剂吸收大部分能量) |
| 薄膜化学完整性 | 可能发生化学计量偏移 | 保持目标材料的化学结构 |
| 适用材料 | 无机材料、难熔金属 | 聚合物、生物分子、有机半导体 |
MAPLE系统应用于以下前沿研究与开发领域:
| 领域 | 典型应用 |
|---|---|
| 有机电子与光电子 | OLED、有机太阳能电池、有机场效应晶体管(OFET)薄膜 |
| 生物医学工程 | 生物活性涂层(如羟基磷灰石)、药物控释薄膜、组织工程支架 |
| 聚合物薄膜 | 功能性高分子涂层、导电聚合物、介电聚合物 |
| 传感器 | 气敏/湿敏聚合物薄膜、生物传感器敏感层 |
| 防护涂层 | 聚合物防腐涂层、抗生物污损涂层 |
| 基础研究 | 复杂有机分子的真空沉积机理、材料结构与性能关系 |
基质辅助脉冲激光沉积系统(MAPLE)是传统PLD技术在软物质薄膜沉积方向的重大延伸。它通过冷冻靶材与红外激光的组合,突破了传统PLD对热敏材料的限制,实现了高分子、生物分子等复杂有机材料的高质量、化学
完整性薄膜沉积。系统具备300°C衬底加热、-194°C靶材冷却、2.5-4英寸靶-基距可调、2.9 μm Er:YAG激光等先进技术指标,是先进功能薄膜研究的理想平台。
如需进一步了解系统配置、定制选项或报价,欢迎联系我们。
仪器简介:
基质辅助脉冲激光沉积系统(MAPLE)起初由美国海军研究实验室于1994年开发,使用准分子激光器沉积聚合物薄膜。多年来,基质辅助脉冲激光沉积系统已经有了很大的发展,现已发展成为具备红外激光器和多目标机
械手的商用系统。中科院宁波材料所于2014年引进了国内MAPLE系统,其主要技术参数包括:衬底尺寸(Max)2英寸直径或多个小样品,衬底温度(Max)可达300°C,MAPLE靶材温度低至-194°C,压力操作范围根据
聚合物/溶剂混合物变化,靶材到衬底距离可在2.5至4英寸之间调节。该系统支持2.9微米(Er:YAG激光)及其他波长激光,并配有可视/近红外共振PLD/MAPLE系统。
系统技术指标:
衬底尺寸
One 2-inch diameter substrate or multiple small samples. Larger substrates and custom substrate holders are available on request.
衬底温度:300°C typical, but other heaters are available.
MAPLE靶材温度: -194°C (80 K)
压力操作范围:Base pressure depends strongly on polymer/solvent mix and the solvent vapor pressure
MAPLE靶材尺寸:Single 1.5” diameter target standard, larger targets available on request.
靶材到衬底(Throw) 距离:Variable from 2.5 to 4 inches
光栅路径长度:Across complete MAPLE target
标准的激光束射向靶材入射角度:60°
主腔体本底真空:P < 5 x 10-7 Torr guaranteed with system at room temperature and no polymer/solvent mix.
真空腔体:Box style chamber with easy substrate / target changes.
激光波长:2.9 microns (Er:YAG laser), other lasers/wavelengths available on request.
可见/近红外共振PLD/MAPLE系统VIS/NIR Resonant PLD/MAPLE System
优势与特点:
1. 低温沉积,保留材料化学完整性
MAPLE靶材温度可低至 -194°C(80 K),利用冷冻靶材抑制热敏材料分解
衬底可加热至 300°C,满足不同薄膜结晶需求
特别适合聚合物、生物大分子、有机半导体等热敏材料
2. 灵活的激光系统
标配 2.9 μm(Er:YAG激光),有机分子吸收效率高
可选其他波长激光器
支持 可见/近红外共振PLD/MAPLE 系统配置
3. 精确的过程控制
靶材-衬底距离:2.5 ~ 4 英寸 连续可调
激光入射角:60°(标准)
光栅扫描:覆盖整个MAPLE靶材表面,确保均匀烧蚀
4. 兼容多种样品规格
Max衬底尺寸:2英寸直径 或 多个小样品(可定制更大衬底)
标准靶材尺寸:1.5英寸直径(可定制更大靶材)
5. 高真空环境
主腔体本底真空:室温无聚合物/溶剂时优于 5×10⁻⁷ Torr
保证薄膜纯度,减少背景杂质掺入
6. 便捷的操作设计
箱式真空腔体,便于衬底/靶材更换
可根据聚合物/溶剂混合物的蒸汽压优化操作压力
系统配置亮点:
| 激光系统 | Er:YAG激光(2.9 μm)为标准配置,可选其他波长;支持可见/近红外共振PLD/MAPLE |
| 靶材控制 | 多目标机械手(可选),光栅扫描覆盖整个靶面 |
| 衬底加热 | Max300°C,可定制其他温度范围 |
| 靶材冷却 | 液氮冷却,可低至-194°C(80 K) |
| 真空腔体 | 箱式设计,前/侧开方便操作,高真空兼容 |
| 距离调节 | 靶材-衬底间距手动或电动可调(2.5-4英寸) |
| 特性 | 传统PLD | MAPLE |
|---|---|---|
| 靶材形态 | 致密固体(金属、陶瓷等) | 冷冻靶材(聚合物+溶剂基质) |
| 材料分解风险 | 高(激光直接烧蚀) | 低(溶剂吸收大部分能量) |
| 薄膜化学完整性 | 可能发生化学计量偏移 | 保持目标材料的化学结构 |
| 适用材料 | 无机材料、难熔金属 | 聚合物、生物分子、有机半导体 |
MAPLE系统应用于以下前沿研究与开发领域:
| 领域 | 典型应用 |
|---|---|
| 有机电子与光电子 | OLED、有机太阳能电池、有机场效应晶体管(OFET)薄膜 |
| 生物医学工程 | 生物活性涂层(如羟基磷灰石)、药物控释薄膜、组织工程支架 |
| 聚合物薄膜 | 功能性高分子涂层、导电聚合物、介电聚合物 |
| 传感器 | 气敏/湿敏聚合物薄膜、生物传感器敏感层 |
| 防护涂层 | 聚合物防腐涂层、抗生物污损涂层 |
| 基础研究 | 复杂有机分子的真空沉积机理、材料结构与性能关系 |
基质辅助脉冲激光沉积系统(MAPLE)是传统PLD技术在软物质薄膜沉积方向的重大延伸。它通过冷冻靶材与红外激光的组合,突破了传统PLD对热敏材料的限制,实现了高分子、生物分子等复杂有机材料的高质量、化学
完整性薄膜沉积。系统具备300°C衬底加热、-194°C靶材冷却、2.5-4英寸靶-基距可调、2.9 μm Er:YAG激光等先进技术指标,是先进功能薄膜研究的理想平台。
如需进一步了解系统配置、定制选项或报价,欢迎联系我们。
