该触摸屏控制系统的转速范围为100~7000rpm，精度±1%，具备20步程序控制系统及时间控制功能（0.1~999.9秒）。设备包含14英寸碗腔，可处理小片至8英寸晶圆样品，配备PE材料真空吸盘及直流伺服马达，并集成

无油真空泵。此外，设备还具备自锁腔盖、废液收集瓶、自动注射装置等特性，适用于多种化学溶液供应需求。

Touch panel control System  触摸屏控制系统

1) Spin speed : 100~7000rpm ±1% (@ No load )转速：100~7000rpm ±1% （空载）

2) Programmable Coating System : 20steps, 20 Recipes (Save & load)   程序控制系统： 20步，20个菜单 （存储和调用）        

3) Time : 0.1~999.9sec (Programmable)  时间控制：0.1~999.9sec

4) Bowl size : 14 inch   碗腔直径：14英寸

5) Sample size : piece ~ 8 inch wafer   样品尺寸：小片—8英寸

6) Vacuum chuck : PE 1ea   真空吸盘：PE材料，1个

7) Motor : DC Servo Motor  直流伺服马达

8) External : STS Main Body   STS主机材质

9) Oil-less Vacuum Pump 1ea (Include)   含无油真空泵

10) Acceleration/Deceleration rates : Variable Time (0.1sec step) 加速度：0.1sec每步

11) Cover Inter-Lock  腔盖自锁

12) Direct to Exhaust & Drain Bottle  排泄废液收集瓶

13) Dispenser Arm ,Nozzle & 2ℓ Bottle in Stainless Steel Chemical Supply Pressurizing Tank   自动注射装置：操作杆，喷嘴，2升注液瓶，不锈钢压力罐

  1 nozzle : Developer     一路喷头，用于显影液

  2 nozzle : D.I Water      第二路喷头，用于去离子水

  3 nozzle : N2     第三路喷头，用于氮气

优势与特点：

• 宽范围高精度转速控制，转速范围 100~7000 rpm，精度高达 ±1%（空载），满足从低转速匀胶到高速干燥的多种工艺需求。

• 可编程涂覆系统，支持 20步 程序控制，可存储 20个配方（菜单），具备保存与调用功能，方便工艺参数快速切换与重复。

• 精确时间控制，时间设定范围 0.1~999.9 秒（可编程），步进精度0.1秒，确保每步工艺时间准确可控。

• 灵活的加速/减速控制，加速度/减速度可调，每步0.1秒，实现平稳启停，避免胶层不均或图案变形。

• 宽泛的样品兼容性，可处理从小片到8英寸晶圆的多种样品，适配性强，满足不同尺寸基板的涂覆需求。

• 耐腐蚀腔体与安全保护，14英寸碗腔，空间充裕，STS不锈钢主机材质，坚固耐腐蚀，PE材料真空吸盘，有效吸附固定样品，腔盖自锁（Cover Inter-Lock） 功能，防止误开启，保障操作安全。

• 完备的溶液与废液管理，配备自动注射装置：操作杆、喷嘴、2升注液瓶及不锈钢压力罐，支持多路化学溶液供应，标配3路喷头：显影液、去离子水、氮气（N₂），设有废液收集瓶及直排排气通道，方便废液回收与废气排放。

• 集成无油真空泵，设备标配无油真空泵，提供洁净真空源，避免油污污染样品及环境。

• 直流伺服马达驱动，采用直流伺服马达，启停平稳，转速响应迅速，长期运行稳定可靠。

本触摸屏控制匀胶系统广泛应用于以下研究与生产领域：

本触摸屏控制匀胶显影系统以宽转速范围、高精度控制、可编程流程、完备溶液管理及坚固耐腐蚀结构为优势，为半导体、MEMS、光电及纳米技术领域提供了可靠、灵活、易操作的匀胶解决方案。其14英寸腔体兼容小片至8

英寸晶圆，配合直流伺服马达与无油真空泵，确保工艺重复性与样品洁净度，适用于研发与中试生产环境。如需进一步了解星空网页版配置、定制喷嘴或报价，欢迎联系我们。