六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台
六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台
高通量开放式卡塞晶圆分选机
双晶圆搬运机器人
双对齐器
2-6个带映射的加载端口
晶圆翻转
高吞吐量200mm SMIF分拣机
双晶圆搬运机器人
双对齐器
2个带映射的SMIF加载端口
迷你环境
设备前端模块
1-6个加载端口(开放式卡塞或SMIF)
双对齐器
晶圆装载窗口
SECS/GEM和GEM300通信
联系人:张垚
手机:13916855175
电话:021-56035615
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