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六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台

  • 六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台
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六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台

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六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台

高通量开放式卡塞晶圆分选机

双晶圆搬运机器人

双对齐器

2-6个带映射的加载端口

晶圆翻转

高吞吐量200mm SMIF分拣机

双晶圆搬运机器人

双对齐器

2个带映射的SMIF加载端口

迷你环境

设备前端模块

1-6个加载端口(开放式卡塞或SMIF

双对齐器

晶圆装载窗口

SECS/GEMGEM300通信