微晶圆检测
自动AI微晶圆检测
微晶圆检测
安装在显微镜上的Cognex InSight ViDi D905相机
X/Y工作台在显微镜下移动晶片
手动装载系统,配备自定心晶圆装载台,计划采用全自动系统
KLARF文件生成可能
最小缺陷尺寸待定
Model | Wafer Size | Description |
MICRO-INSPECT | 75/100/125/150/ 200 mm | Automated Micro Inspection |
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