AWT/MWT(自动/手动晶圆传送)机器在卡塞之间水平传送晶圆。
手动/自动批量晶圆转移
AWT/MWT(自动/手动晶圆传送)机器在卡塞之间水平传送晶圆。
安全联锁装置(AWT)
卡塞放置传感器
晶圆传输过程中异常电阻的电机过电流检测
当联锁激活时,晶片传输将停止
MWT有一个自返回的传送臂,因此机器随时可以使用。
反向卡塞装载时可以批量翻转
Model | Wafer Size | Description |
AWT* | 150/ 200 mm | Auto Wafer Transfer |
MWT* | 75 to 200 mm | Manual Wafer Transfer |
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