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手动/自动批量晶圆转移

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手动/自动批量晶圆转移

手动/自动批量晶圆转移

    AWT/MWT(自动/手动晶圆传送)机器在卡塞之间水平传送晶圆。

手动/自动批量晶圆转移

AWT/MWT(自动/手动晶圆传送)机器在卡塞之间水平传送晶圆。

安全联锁装置(AWT

    卡塞放置传感器

    晶圆传输过程中异常电阻的电机过电流检测

      

当联锁激活时,晶片传输将停止

MWT有一个自返回的传送臂,因此机器随时可以使用。

反向卡塞装载时可以批量翻转

Model

Wafer Size

Description

AWT*

150/ 200 mm

Auto Wafer Transfer

MWT*

75 to 200 mm

Manual Wafer Transfer