NFE200和FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。
手动/自动平面和凹口对准器/升降机
NFE200和FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。
使用2个无真空支架从载体上抬起
照明单元(红色或白色LED)照亮晶片进行检查或激光标记验证。
NFE200与各种衬底材料兼容,包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)
Model | Wafer Size | Description |
NFE200 | 200 mm | Notch Finder and Elevator |
FFE150 | 150 mm | Flat Finder and Elevator |
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