语言选择: 中文版 ∷  英文版

手动/自动平面和凹口对准器/升降机

  • 手动/自动平面和凹口对准器/升降机
手动/自动平面和凹口对准器/升降机

手动/自动平面和凹口对准器/升降机

     NFE200FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。

手动/自动平面和凹口对准器/升降机

NFE200FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。

使用2个无真空支架从载体上抬起

照明单元(红色或白色LED)照亮晶片进行检查或激光标记验证。

NFE200与各种衬底材料兼容,包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN

Model

Wafer Size

Description

NFE200

200 mm

Notch Finder and Elevator

FFE150

150 mm

Flat Finder and Elevator