语言选择：
∷
∷
∷
UHV磁控溅射源是高质量的磁控溅射源，用于超高真空应用的圆形磁控管，可以单独提供，也可以集成到定制的真空系统中。这些圆形磁控溅射源与所有 UHV 系统兼容。
主要特点：
兼容 DC、RF、脉冲直流（单极或双极）和 HiPIMS 电源
规格
| 恒星源 | 1.0″ | 2.0″ | 3.0″ |
| 安装法兰 （CF （O.D.） | 4.5 英寸 | 6.0 英寸 | 6.0 英寸 |
| 114 毫米 | 152 毫米 | 152 毫米 | |
| NW63CF | NW100CF | NW100CF | |
| 兼容 UHV | 是的，可在高达 250°C 的温度下烘烤（无需移除磁铁） | ||
| 真空长度 | 200 毫米或 300 毫米 – 可根据要求提供特殊长度 | ||
| 源头的真空直径 | 45 毫米 | 72 毫米 | 93 毫米 |
| 目标大小 | 1.0 英寸（25 毫米） | 2.0 英寸（50 毫米） | 3.0 英寸（75 毫米） |
| 目标物厚度（使用标准磁铁的非磁性目标物） | 最大 3 毫米 | 最大 3 毫米 | 最大 3 毫米 |
| 目标物厚度（带有强磁铁的非磁性目标物） | 不适用 | 最大 7 毫米 | 最大 7 毫米 |
| 目标物厚度（带有强磁铁的磁性目标物） | 不可用 – | 最大 1 毫米 | 最大 2 毫米 |
| 0.4mm，带标准 | |||
| 磁性元件 | |||
| 磁铁 | 对于磁性或非磁性材料，平衡或不平衡，用户可以轻松 | ||
| 更换 | |||
| 电源 | 直流、射频、脉冲直流（单极或双极）、HiPIMS | ||
| 快门 | 一体式手动或可选气动操作 | ||
| 冷却 | 最小水流量为 1 I/min | ||
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
邮箱：info@crosstech.com.cn
地址： 上海市杨浦区黄兴路1728号东方蓝海国际广场2号楼1119室
