红外晶圆检测显微镜

红外光晶片检测显微镜硅对红外光是透明的。我们的红外光晶片检测显微镜从背面照亮硅基板，并捕获渗透到基板中的光。因此，可以检查硅基板内部的现象，这些现象在传统显微镜下是不可见的。显微镜配备了一个长工作距离物镜。三步变焦允许用户选择正确的视野和放大倍数。红外感应摄像头通过USB在您的计算机上显示被检查设备的图像。5倍物镜的分辨率优于3µm。此外，还提供顶部照明。这允许在传统模式下使用显微镜并检查晶片的顶面。红外显微镜配备了一个xy工作台，可容纳8英寸或更小的晶片。该工作台由电机驱动，可以用操纵杆控制。对于实验室环境，红外显微镜可以配备一个经济高效的手动XY平移台，而不是全自动设备。

硅片是集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）制造中使用的重要部件。在红外（IR）范围内看穿这种半导体材料的能力有利于制造
过程的质量控制。

我们的红外晶圆检测显微镜（IR-M）配备了长工作距离物镜。3步变焦允许用户选择合适的视场和放大倍数。红外敏感相机在计算机
上显示被检样品的图像（通过USB 3.0通信）。使用5倍物镜，分辨率优于3μm。

此外，还提供顶部照明。这使得显微镜可以在传统模式下使用，并检查晶片的顶面。红外显微镜配备了一个xy工作台，可容纳Ø200
mm（8英寸）或更小的晶片。可选地，xy工作台可以由电机驱动，以便通过图形用户界面（GUI）和/或操纵杆进行方便的控制。

应用

除其他应用外，IR-M还可用于半导体和MEMS器件检测：

通过透射成像观察硅片（即微结构晶片）

太阳能电池的功率效率检查

以下图像是用IR-M成像显微镜拍摄的。他们展示了一种微结构绝缘体上硅（SOI）晶片。第一幅图像显示了具有顶侧照明（可见光谱）
的经典显微镜图像。第二张图像是用红外照明（IR透射模式）拍摄的，显示了基底层和器件层之间的埋入氧化硅（SiO2）。